MEMS加速度計有哪些型別？

mems加速度計有哪些型別？

mems加速度計以積體電路工藝和微機械加工工藝為基礎，將電子原件和機械原件整合在一塊晶元上，具有體積小、質量輕、成本低、能耗低、整合度高等一系列的優點，微加速度計的種類較多主要如下：

1、角振動加速度計、線振動加速度計

2、扭擺式加速度計、懸臂梁式加速度計、彈簧支撐式加速度計

3、電容式加速度計、電阻式加速度計、諧振式加速度計、熱流式加速度計、隧道電流式加速度計

4、開環式加速度計、閉環式加速度計

5、單軸微機械加速度計、雙軸微機械加速度計i、三軸微機械加速度計

其中電容式mems加速度計的敏感元件為固定電極和可動電極之間的電容器，是目前研究最為廣泛的一類加速度感測器，一般採用懸臂梁、固支梁或撓性軸結構，支撐乙個當作電容動板電極的質量塊，質量塊與乙個固定極板構成乙個平板電容。

其工作原理是在外部加速度作用下，校驗質量塊產生位移這樣就會改變質量塊和電極之間的電容，將這種變化量用外圍電路檢測出來就可測量加速度的大小。​

MEMS加速度計效能測評

本文介紹了微機電系統 mems 加速度計的多項特性，它們使得該技術對狀態監控應用極具吸引力。本文通過回顧一些資料來說明mems技術的發展狀況及效能水平，並將其與商用壓電 pzt 狀態監控加速度計進行比較。對mems工藝技術的投資加上設計創新，已大大改善mems效能，使得mems足以成為更廣泛狀態監控...

mems加速度計晶元的引數介紹

mems加速度計晶元的引數介紹 測量範圍 fs也稱量程，單位為g 地球重力 是指加速度計能測量到的正反方向最大加速度的額定值範圍st提供各種量程產品 2g,4g,8g,16g,upto 400g 靈敏度 解析度sensitivity resolution 代表在設定好的量程範圍下，感測器可以感應到的...

MEMS加速度計在機械人的應用

mems加速度計在機械人的應用 隨著科技的發展人們社會中的各類智慧型機器也越來越多，這裡對機械人的運動簡單介紹。機械人運動主要靠三軸傾角感測器進行的運動狀態 姿態控制中起到非常關鍵的作用，mems加速度計作為重要的傾角檢測器件，因為有著體積小 重量輕 功能小 成本低 可靠性高易於實現數位化和智慧型化...