mems加速度計在機械人的應用
隨著科技的發展人們社會中的各類智慧型機器也越來越多，這裡對機械人的運動簡單介紹。
機械人運動主要靠三軸傾角感測器進行的運動狀態、姿態控制中起到非常關鍵的作用，mems加速度計作為重要的傾角檢測器件，因為有著體積小、重量輕、功能小、成本低、可靠性高易於實現數位化和智慧型化，逐漸取代傳統姿態測量器件陀螺應用於微型機械人。
電容式微加速度計是最常見的，也有成熟推廣的產品。其基本原理就是將電容作為檢測介面，來檢測由於慣性力作用導致慣性質量塊發生的微位移。質量塊由彈性微梁支撐連線在基體上，檢測電容的乙個極板一般配置在運動的質量塊上，乙個極板配置在固定的基體上。圖2所示為典型的三明治結構的平板電容式微加速度計。還有ad 公司開發的電容式微加速度計採用梳齒陣列電容作為檢測介面。電容式微加速度計的靈敏度和測量精度高、穩定性好、溫度漂移小、功耗極低，而且過載保護能力較強；能夠利用靜電力實現反饋閉環控制，顯著提高感測器的效能，因為有著靈敏性常被用於運動機械人人的動態、姿態控制。
引數 | 型號 單位 sia202 sia205 sia210 sia215 sia220 sia230 sia250
量程 g ±2 ±5 ±10 ±15 ±20 ±30 ±50
偏值 mg 0.14 0.35 0.7 1.05 1.4 2.1 3.5
偏值穩定性 mg 0.24 0.6 1.2 1.8 2.4 3.6 6
偏值重複性 μg 3 7.5 15 22.5 30 45 75
標度因數 mv/g 1350 540 270 180 135 90 54
標度因數穩定性 ppm 120
失準角 mrad 10
閾值（1hz） μg rms 7 17 34 51 68 102 170
非線性（ieee ） % fs 0.3
工作溫度 ℃ -40～125
功耗 mw 10
尺寸 mm2 9×9
這是一款高精度mems加速度計晶元的效能指標引數。
MEMS加速度計效能測評
本文介紹了微機電系統 mems 加速度計的多項特性，它們使得該技術對狀態監控應用極具吸引力。本文通過回顧一些資料來說明mems技術的發展狀況及效能水平，並將其與商用壓電 pzt 狀態監控加速度計進行比較。對mems工藝技術的投資加上設計創新，已大大改善mems效能，使得mems足以成為更廣泛狀態監控...
mems加速度計晶元的引數介紹
mems加速度計晶元的引數介紹 測量範圍 fs也稱量程，單位為g 地球重力 是指加速度計能測量到的正反方向最大加速度的額定值範圍st提供各種量程產品 2g,4g,8g,16g,upto 400g 靈敏度 解析度sensitivity resolution 代表在設定好的量程範圍下，感測器可以感應到的...
MEMS加速度計在尋北儀中的應用
mems加速度計在尋北儀中的應用 高精度尋北儀是一款由高精度雙軸動力調諧陀螺通過測量地球自轉角速度，自主確定所附載體的真北方向值，不受外界磁場或其他環境的干擾和影響，另外它也可以結合加速度進行水平角度的測量和修正，主要應用於鑽孔定向儀 鑽井裝置控測 海洋堪測 三維掃瞄器 雷達 天線 軍用車輛等領域。...