本文介紹了微機電系統(mems)加速度計的多項特性，它們使得該技術對狀態監控應用極具吸引力。本文通過回顧一些資料來說明mems技術的發展狀況及效能水平，並將其與商用壓電(pzt)狀態監控加速度計進行比較。
對mems工藝技術的投資加上設計創新，已大大改善mems效能，使得mems足以成為更廣泛狀態監控應用的可行選擇。採用專門化mems結構和工藝技術，現在已實現諧振頻率高達50 khz、雜訊密度低至25 ¬g/ hz的加速度計。通過精心設計的訊號調理電子電路，可以充分發揮此類新型加速度計的低雜訊優勢。
sia202 | 引數 備註 單位 最小值 典型值 最大值
量程 g ±2
非線性 ieee norm , %全量程 % 0.3 1.0
頻率響應 -3db hz 200
諧振頻率 過阻尼 khz 1.4
振動整流誤差 均值頻率 [50hz , 2khz] µg/g2 1300
雜訊 頻帶內 µg/√hz 7
解析度 @1hz µg rms 7
啟動響應時間 工作延時運動一次 µs 40
偏值（k0）溫度係數 測定範圍[-40℃， 85℃] µg/℃ 75
綜合偏值（k0）誤差 溫度範圍[-40℃， 85℃] mg 0.14
標度因數（k1）溫度係數 測定範圍[-40℃， 85℃] ppm/℃ 20 120 220
綜合標度因數（k1） 溫度範圍[-40℃， 85℃] mv/g 1330 1350 1370
溫度感測輸出電壓@20℃ v 1.20 1.23 1.26
溫度感測靈敏度 mv/℃ -4.0
復位閾值電壓 低電平有效 %vdd 20
工作電壓 v 3.2 3.3 3.4
工作電流 ma 2.3 4
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