mems加速度計晶元的引數介紹
測量範圍 fs也稱量程,單位為g(地球重力),是指加速度計能測量到的正反方向最大加速度的額定值範圍st提供各種量程產品(±2g,±4g,±8g,±16g,upto±400g)。
靈敏度/解析度sensitivity/resolution 代表在設定好的量程範圍下,感測器可以感應到的最小輸入加速度增量,一般通過資料轉換精度來表示,st提供8bit,12bit,14bit,16bit多種產品供選擇以12bitlis2dh12。
舉例:2g量程:1mg/digit±16g量程:12mg/digit精度越高,解析度就越高,雜訊越小。
零飄0g-offset 被測量軸在加速度為0時的輸出值,單位為g。
零飄隨溫度變化st通過領先的設計保證典型零飄僅40mg,隨溫度變化僅0.5mg/攝氏度
輸出資料速率odr以lis2dh12舉例:提供1hz-5khz可選;速率越高,功耗越高,可根據具體的應用來動態調整以降低整體功耗。
雜訊密度一般以ug/sqrt(hz)的方式給出,頻寬越高雜訊越大,頻寬大致等於輸出資料速速率的一半,因此輸出速率設定越高,雜訊越大。st雜訊低至90ug/sqrt(hz)。
自檢功能self-test 將允許客戶可以同時測試機械和電子的部分而無需移動產品,啟用自檢功能後,通過靜電測試力的方式在感測器上施加衝擊力以模仿現實情況。
MEMS加速度計效能測評
本文介紹了微機電系統 mems 加速度計的多項特性,它們使得該技術對狀態監控應用極具吸引力。本文通過回顧一些資料來說明mems技術的發展狀況及效能水平,並將其與商用壓電 pzt 狀態監控加速度計進行比較。對mems工藝技術的投資加上設計創新,已大大改善mems效能,使得mems足以成為更廣泛狀態監控...
MEMS加速度計有哪些型別?
mems加速度計有哪些型別?mems加速度計以積體電路工藝和微機械加工工藝為基礎,將電子原件和機械原件整合在一塊晶元上,具有體積小 質量輕 成本低 能耗低 整合度高等一系列的優點,微加速度計的種類較多主要如下 1 角振動加速度計 線振動加速度計 2 扭擺式加速度計 懸臂梁式加速度計 彈簧支撐式加速度...
MEMS加速度計在機械人的應用
mems加速度計在機械人的應用 隨著科技的發展人們社會中的各類智慧型機器也越來越多,這裡對機械人的運動簡單介紹。機械人運動主要靠三軸傾角感測器進行的運動狀態 姿態控制中起到非常關鍵的作用,mems加速度計作為重要的傾角檢測器件,因為有著體積小 重量輕 功能小 成本低 可靠性高易於實現數位化和智慧型化...