機械振動極大的影響mems陀螺儀的測量精度，如何消除機械振動對mems 測量的影響是這個行業的核心工作
原理框圖如下:專案使用梳齒結構mems陀螺儀表頭+驅動電路+檢測電路.mems表頭採用孟氏c-v轉換電路,孟氏c-v轉換電路不同於常見的c-v轉換電路的地方是,孟氏c-v轉換電路巧妙地利用了mems表頭的機械機構，從物理的角度消除機械振動對科 氏力 的影響，實驗表明，這個設計方案 有很好的抗機械振動的能力,這在源頭上抑制了機械振動對mems陀螺儀輸出訊號的影響;
mems驅動電路採用自激式電路,該電路可以實現自動鎖定mems陀螺儀表頭諧振頻率,並有穩幅功能,檢測電路可以完全消除機械振動對科 氏力 的影響,系統框圖如下: (未完 待續 2023年3月 15日如果您對本文提到的技術問題有疑問或好的建議，歡迎批評指正，歡迎拍磚，本人萬分感謝：[email protected])
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