電容式感測器是利用敏感電容將被測力/壓力轉換成與之有一定關係的電學量輸出的壓力感測器。
力——>電學量
優點：結構簡單、高分辨力、可非接觸測量，並能在高溫、輻射和強烈振動等惡劣條件下工作。
按照原理分類：
在矽片上取適當的晶向蝕刻成薄矽膜，與溫度係數相近的、噴鍍有電極的玻璃板形成
蝕刻兩個矽膜片，一敏感膜片，一參考膜片
按結構分類：單端式和差動式
按敏感膜片型式分類：圓形、方形、環形。
檢測電路：
用電容的變化量來控制振盪器的頻率
用阻抗橋測量壓敏電容的交流阻抗變化
從電容原理分為：變極距型、變面積型、變介質型三種
c=ε0 εr a / δ
a是面積 ε0 εr介質 δ板間距離
變極距型電容感測器只有在測量範圍小的時候才有近似的線性輸出
特點：
當c1增加時，另乙個電容量減小相同量值
優點：溫度穩定性好
結構簡單
動態響應好
可以非接觸測量
靈敏、分辨力高、能敏感0.01μm甚至更小的位移
缺點：輸出阻抗高、負載能力差、易受外界干擾產生不穩定現象
解決方法：採取遮蔽措施（負載能力差）
提高絕緣部分的電阻值（輸出阻抗高）否則絕緣部分將作為旁路電容而影響儀器的效能
寄生電容影響大
等效電路
邊緣效應
靜電引力
寄生電容
解決方法
1、驅動電纜法
2、整體遮蔽法
3、採用組合與整合技術
溫度影響：對結構尺寸和介質的影響
當該電路用於差動式變極距型電容感測器的
這種電路只採用直流電源，無需振盪器，要求直流電源地電壓穩定度較高
用於差動式變面積型電容式感測器時
二極體雙t型電路
用於接觸式測量，電容與位移呈線性關係
什麼是電容式力敏感測器？他是怎樣工作的？此類感測器有哪幾種型別？常見的電容式感測器測量電路有哪些？電容式力敏感測器有哪些應用例項？
電容式力敏感測器是利用敏感電容將被測力/壓力轉化成電學量輸出的壓力感測器
當被測量引起電容的a er或d變化時，導致c隨之變化。在實際使用中，通常保持其中兩個引數不變，而隻變乙個引數，把引數的變化轉換成電容量的變化，通過測量電路換為電量輸出。
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