遇到乙個疑惑，來csdn找尋答案~~
技術指標
影象識別誤差：±5μm/3σ
xy 臺重複定位精度：±2μm/3σ；
3σ是什麼？為什麼精度後面跟乙個3σ？
σ是指正態分佈中的標準差，正態分佈我們學過，但是3倍的標準差和精度的關係。。？
正態分佈概念是由德國的數學家和天文學家moivre於2023年首次提出的，但由於德國數學家gauss率先將其應用於天文學研究，故正態分佈又叫高斯分布。高斯對於正態分佈的歷史地位的確立起到了決定性的作用。
高斯的頭像和正態密度曲線
正態分佈是自然界及工程技術中最常見的分布之一，大量的隨機現象都是服從或近似服從正態分佈的，可以證明，如果乙個隨機指標受到諸多因素的影響，但其中任何乙個因素都不起決定性作用，則該隨機指標一定服從或近似服從正態分佈。
在統計上，68–95–99.7原則是在正態分佈中，距平均值小於乙個標準差、二個標準差、三個標準差以內的百分比，更精確的數字是68.27%、95.45%及99.73%。即為3σ準則：
數值分布在（μ-σ,μ+σ)中的概率為0.6827；
數值分布在（μ-2σ,μ+2σ)中的概率為0.9545；
數值分布在（μ-3σ,μ+3σ)中的概率為0.9973；
可以認為，乙個正態分佈的資料集的取值幾乎全部集中在（μ-3σ,μ+3σ)區間內，超出這個範圍的可能性僅佔不到0.3%。
在實驗科學中有對應正態分佈的三西格馬定律（three-sigma rule of thumb），是乙個簡單的推論，內容是「幾乎所有」的值都在平均值正負三個標準差的範圍內，也就是在實驗上可以將99.7%的機率視為「幾乎一定」。不過上述推論是否有效，會視**領域中「顯著」的定義而定，在不同領域，「顯著」（significant）的定義也隨著不同，例如在社會科學中，若置信區間是在正負二個標準差（95%）的範圍，即可視為顯著。但是在粒子物理中，若是發現（英語：discovery (observation)）新的粒子，置信區間要到正負五個標準差（99.99994%）的程度。
在不是正態分佈的情形下，也有另乙個對應的三西格馬定律（three-sigma rule），即使是在非正態分佈的情形下，至少會有88.8%的機率會在正負三個標準差的範圍內，這是依照切比雪夫不等式的結果。若是單模分布（unimodal distributions）下，正負三個標準差內的機率至少有95%，若一些符合特定條件的分布，機率至少會到98%。
回到技術指標「±5μm/3σ」，就是指99.73%概率裝置影象識別精度為5μm，理論上有0.27%的概率達不到5μm這個精度。
進行裝置的精度評估時，根據測量的資料集得出標準差σ後，就得出這個裝置在特定概率下的精度。舉例來說，假設計算得出的σ為1μm，則結論就是：在68.27%概率下裝置精度1μm，在95.45%概率下裝置精度為2μm，在99.73%概率下裝置精度為3μm，與裝置要求的精度指標對比，就可評價該裝置是否滿足精度要求。
裝置的精度應該都是在一定概率條件下的，比如說標明1μm精度(3σ)指標的裝置，理論上依然有0.27%的概率達不到1μm這個精度，而標明1μm精度(1σ)指標的裝置，理論上就有31.73%的概率達不到1μm這個精度，但這並不是說該裝置就不合格不能用，而是要根據自己的使用要求來評估這個裝置是否適合用。這也說明，很多裝置只提精度指標，而不標註是幾個σ條件下，是不嚴謹和不完整的。
實際工程中，由於3σ的概率≈1，所以3σ的精度指標一般就是要求裝置資料集的標準差σ必須小於所提的精度的1/3。
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