主動式消磁器 磁場補償系統的典型應用場合

2021-10-20 18:13:52 字數 1112 閱讀 3912

產品描述

當今的高效能電子束相關的裝置對變化的環境磁場非常敏感,比如離子束3d列印裝置、電子顯微鏡、半導體光刻機、等離子切割機。當環境磁場發生變化時,電鏡中的電子束會偏轉,從而導致列印歪曲偏離、電子顯微鏡解析度下降和影象失真。

mcs6x系列磁場消除系統通過動態建立幾乎相等且方向相反的磁場來穩定電子束相關的裝置周圍的環境磁場,改善各種電子束、離子束裝置周圍惡劣的磁場環境,保障裝置使用的磁場環境要求。

mcs6x系列磁場消除系統由磁感測器感知單元、磁場發生單元、磁場控制單元、顯控單元等構成。綜合了低雜訊磁敏感技術、消磁線圈優化設計技術、磁場自動控制技術,實現了對寬頻帶雜散磁場的自動跟蹤補償,達到穩定磁場的目的。

典型應用場合

1. 生命科學領域的冷凍電鏡。

冷凍電鏡可以直接觀測蛋白質分子、生物病毒(埃博拉病毒、非典病毒、新冠肺炎病毒)的結構,但是冷凍電鏡極易受到磁場、震動的影響;磁場影響主要來自大型用電裝置、輸電線路、軌道交通等。

2. 材料科學領域的掃瞄電鏡。
掃瞄電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產生過程,可以觀察金屬材料內部原子的集結方式和它們的真實邊界,可以觀察在不同條件下邊界移動的方式,可以檢查晶體在表面機械加工中引起的損傷和輻射損傷等;但是掃瞄電鏡容易受到磁場波動的影響而導致影象出現條紋。

3. 化工領域中的原理分析用電鏡。
電鏡可以用來觀測催化劑的表面重構,深入研究反應機理,但是磁場干擾尤其是交流磁場干擾會使得球差矯正透鏡的影象模糊、扭曲。

4. 半導體工藝中的缺陷分析用電鏡。
矽片表面玷汙是影響微電子器件質量的嚴重問題。掃瞄電鏡可以檢查和鑑定矽片表面玷汙的種類、**。用掃瞄電鏡還可以檢查矽片表面殘留的塗層或均勻薄膜、可以顯示其微觀結構。

5. 奈米製造領域的加工精度保證。
奈米科技的發展引領奈米尺度製造業的迅速發展,奈米加工就是奈米製造業的核心部分,奈米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發展起來的聚焦離子束(fib)技術利用高強度聚焦離子束對材料進行奈米加工,成為了奈米級分析、製造的主要方法。但是離子束極易受到磁場的影響,無論是恆定磁場還是變化的磁場均會使得加工精度受到影響。

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