真空鍍膜裝置的壓力測量值意味著什麼?真空規測出的值就是全壓(真空度)嗎?我們必須要搞清楚壓力測量值代表著什麼。鍍膜機的管規指示值受規殼中壓力的影響,而採用真空規做壓力測量就是為了指示出連線導管開口處的壓力,因此,在做真空校準時,真空規的輸出值需與導管口的壓力相對應,並且要求校準的氣體、溫度、連線管長短等條件要跟實際使用時的情況相同,否則就需做調整。然而,實際使用情況是難以靈活把控的,這會導致調整較為困難,從而導致壓力測量值不夠明確。
實際使用中,鍍膜機真空室內的氣體是由混合的各種氣體和蒸氣構成的,往往無法明確它的全部組成成份,因此,用各類真空規做壓力測量時,真空規往往難以真實表示出被測氣體的全壓。所以一般只能用「等效氮壓」來表示。
1、克努曾規。在假設熱適應係數等於一的情況下,克努曾規的指標值才不受氣體成分所影響,就可以測出全壓。
2、壓縮規。無法測出可凝蒸氣的分壓,只可測出理想氣體的分壓,而這與理想氣體的種類並不相關。
3、u形壓力計和彈性變形規。u形壓力計和彈性變形規可直接測出氣體全壓,且與氣體組份無關,所以它們擁有明確的測量值。
4、電離計。採用電離計進行真空壓力測量的話,若真空室內氣體的主要的組份是油蒸氣,那麼電離計所表示的「等效氮壓」將比實際的壓力大10倍左右,若真空室內氣體主要的組份是氮氣,那麼指示值會比實際壓力小5倍左右。
5、其它常用規型。其他規型都無法直接測量全壓,測出的是與氣體壓力的相關的如分子密度、熱傳導、粘滯性等物理量,因而指示值受氣體組份影響,需對各種型別的氣體分別做校準。
因此,鍍膜真空室中採用真空規的測量出來的壓力值能否代表系統的真空度,需對壓力測量值進行分析,才能得到準確的結果。
對壓力測量值的分析:對真空管規導管的開口處壓力做校準、壓力測定值受真空規的安裝位置影響,在不知道鍍膜真空室內氣體組份的情況下,若採用」等效氮壓」來表示測量值,則會導致壓力測量值不夠明確。
在一些特定的情況下,廣東振華真空鍍膜裝置會採用方向性壓力、分子入射率、氣體分子密度等來表示真空度,因為這可能比之氣體全壓的概念會更加明確。不過在採用新的物理量來表示真空度的同時,還要選擇合適的真空規型、研究新的測量技術及其方案。
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