熱式氣體質量流量計原理及應用

熱式流量計感測器包含兩個感測元件，乙個速度感測器和乙個

溫度感測器

。它們自動地補償和

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氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度感測器加熱到高於工況溫度的某乙個定值，使速度感測器和測量工況溫度的感測器之間形成恆定溫差。當保持溫差不變時，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質量流量成正比。

熱式氣體質量流量計即mass flow meter（縮寫為mfm），它是氣體流量計量中新型儀表，區別於其它氣體流量計不需要進行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質量流量，一支感測器可以做到量程從極低到高量程。它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

熱式氣體質量流量計是用於測量和控制氣體質量流量的新型儀表。可用於石油、化工、鋼鐵、冶金、電力、輕工、醫藥、環保等工業部門的空氣、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣體的監測。

特點：（1）可靠性高，重複性好，測量精度高，壓損小；

（2）無活動部件，量程比寬，響應速度快，無須溫壓補償。

應用：（1）工業管道中氣體質量流量測量；

（2）煙囪排出的煙氣流速測量；

（3）煅燒爐煙道氣流量測量；

（4）燃氣過程中空氣流量測量；

（5）壓縮空氣流量測量；

（6）半道體晶元製造過程中氣體流量測量；

（7）汙水處理中氣體流量測量；

（8）加熱通風和空調系統中的氣體流量測量；

（9）熔劑**系統氣體流量測量；

（10）燃燒鍋爐中燃燒氣體流量測量；

（11

）天然氣、火炬氣、氫氣等氣體流量測量；

（12）啤酒生產過程中二氧化碳氣體流量測量；

（13）

水泥、捲菸、玻璃廠生產過程中氣體質量流量測量。

slpm即英文stard liter per minute，即標準公升每分鐘流量值，與lpm的通常無區別，但slpm規定了必須是常溫常壓狀態下的標準公升，而lpm是指目前該物質的公升。