SECS GEM金南瓜講解 通訊

2021-10-02 08:51:42 字數 615 閱讀 5824

什麼是gem 控制狀態?

gem板的控制狀態是e30 gem的基本要求之一。它定義了主機和裝置之間的協作級別,並指定了操作員如何在不同級別的主機控制狀態下進行互動。

在半導體工廠中,主機或操作員可以控制裝置的加工。雙方同時控制裝置會帶來問題。所以當一方控制裝置時,另一方所能進行的操作將受到限制。例如,如果操作員暫停了工藝處理,則不應允許主機傳送恢復處理或啟動新作業的命令。gem控制狀態就是為了防止此類問題的發生而被建立的。

控制狀態如何工作?

控制狀態提供三個基本級別的控制。每個級別都描述了主機和裝置端可以執行哪些操作。

遠端主機可以最大限度地控制裝置。

本地操作者可以盡可能地控制裝置。

主機可以完全訪問資訊。主機可以使用其他gem特性(如收集事件、跟蹤和狀態資料收集)收集資料。

限制主機如何影響裝置操作:

禁止啟動處理(例如start)或導致物理移動的遠端命令。在處理期間,還禁止影響處理的遠端命令(停止、中止、暫停、恢復)。

離線操作者對裝置有完全的控制。

主機對裝置操作沒有控制,資訊收集能力非常有限。

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